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ULVAC愛發科 MS 系列 螺桿型干泵 真空泵

ULVAC愛發科 MS 系列 螺桿型干泵 真空泵
MS系列是螺桿型干式真空泵。
在傳統的LS系列的基礎上,提高了耐腐蝕性和粉末排出性能。
該型號專為使用腐蝕性氣體和有粉末排出的工藝設計。

  • 更新時間:2024-05-29
  • 產品型號:MS120A
  • 廠商性質:經銷商
  • 訪  問  量:343
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產品詳情

 ULVAC愛發科  MS 系列 螺桿型干泵 真空泵

 ULVAC愛發科  MS 系列 螺桿型干泵 真空泵


特點

通過對轉子軸和氣缸等主要部件進行特殊涂層處理,以防腐蝕。

采用ULVAC設計的轉子軸,實現高性能的排粉。

從大氣壓到極限壓力,可以在全壓力區域連續運行。


用途

半導體和電子器件制造設備相關的真空排氣系統,如刻蝕設備、去膠設備、等離子清洗設備等。

真空熱處理爐真空排氣系統,如燒結爐、滲碳爐等。

鋰電池制造設備真空排氣系統,如電極干燥設備、脫泡設備、注液設備等。

醫療食品設備相關的真空排氣系統,如冷凍干燥設備、真空干燥設備等。


規格

型號MS120AMS600AMS1200A
最大排氣速度 *1m3/h115560980
到達壓力Pa≦0.6≦0.1
電源電壓200V Class:3Phase, 50/60Hz, AC200-240V±10% or 400V Class:3Phase, 50/60Hz, AC380-480V±10%
消費電力概略值 *2kW2.43.13.1
冷卻水量L/min>4.0
Purge gas量 *1SLM0~50
最大水蒸氣處理量 *1*3kg/h1.5
噪音值 *1dB(A)616264
吸氣口KF50(Horizontal) / VG50(Vertical)ISO-F-80ISO-F-100
排氣口KF40
質量 *4kg139241264
適用規格CE、cTUVus


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