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ULVAC愛發科 LS 系列 螺桿型干泵 真空泵

ULVAC愛發科 LS 系列 螺桿型干泵 真空泵
LS系列真空泵被歸為螺桿型干式真空泵。
以往要提高排氣速度就要消耗大量電能,我們通過螺桿形狀和節電技術的融合,使該系列產品成為兼顧高速排氣和低功耗的干式真空泵。
在4種機型中,您可根據設備的大小、使用條件及用途選擇最佳排氣容量的泵。

  • 更新時間:2024-05-29
  • 產品型號:LS120A
  • 廠商性質:經銷商
  • 訪  問  量:509
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聯系電話:0755-22220216

產品詳情

ULVAC愛發科 LS 系列 螺桿型干泵 真空泵

ULVAC愛發科 LS 系列 螺桿型干泵 真空泵


特點

大氣壓附近的排氣速度最大為80m3/h,與以往的真空泵相比,排氣時間可縮短約20%。

■標配的專用消音器能解決干式真空泵的噪音問題。極限壓力時的噪音值在61dB(A)以下,

 這是一個在運轉過程中也不會打擾到您的噪音等級(*1))

■C規格標配的ECO-SHOCK技術是一種省電的愛發科技術。

 該技術可將極限壓力下的消耗電量降到0.6kW以下(*2)

■LS系列無需軸封氣體。以氮氣和空氣等的排氣為主的清潔工藝可降低運行成本


用途

LS系列有兩種規格。

首先是面向清潔工藝的規格。

為內置ECO-SHOCK的低功耗型,適于空氣排氣和N2排氣等清潔工藝用途。

具體來說,包括濺射、鍍膜、貼合/load lock室/TMP輔助等。


其次是面向輕工藝的規格。

具有表面處理和凈化功能,適于水蒸汽和揮發性藥液排氣等輕工藝用途。

具體來說諸如真空干燥、冷凍干燥、灰化和一般工業用途等。


規格

型號(C:C式樣)
(L:L式樣)
LS120ALS300ALS600ALS1200A
CLCLCLCL
最大排氣速度m3/h1203806001000
到達壓力Pa≦0.6≦0.1
電源電壓200V級:3相、50/60Hz、AC200-240V 或 400V級:3相、50/60Hz、AC380-480V
消費電力
概略值 *1
kW0.62.01.02.51.32.61.32.7
冷卻水量L/min>2.0>4.0
Purge gas 量 *2SLM0~500~500~500~50
最大水蒸氣
處理量 *3
kg/h1.51.51.51.5
噪音值*1dB(A)61616264
吸氣口KF50(水平)/
VG50(垂直)
ISO-F-50ISO-F-80ISO-F-100
排氣口KF40KF40KF40KF40
質量kg142220242266
適用規格CE、cTUVus
標準附屬品電源用連接器、防水電纜夾、信號用連接器、電源連接保護器
本體選配件電源電壓:200V級或400V級、密封部材質:全氟彈性體(僅用于L型)



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